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雙電測數字式四探針測試儀別是適用于斜置式四探針對于微區的測試

更新時間:2018-06-13點擊次數:980

雙電測數字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測-改形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器符合單晶硅物理測試方法家標準并參考美 A.S.T.M 標準。利用電探針、電壓探針的變換,行兩次電測量,對數據行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提度,別是適用于斜置式四探針對于微區的測試。
儀器成套組成:由主機、選配的四探針探頭、測試臺以及PC軟件等分組成。
主機主要由恒源、分辨率ADC、嵌入式單片機系統組成,USB通訊接口。儀器主機所有參數設定、能轉換采用數字化鍵盤和數碼開關輸入;具有零位、滿度自校能;測試能可自動/手動方式;儀器操作可由配套軟件在PC機上操作成,也可脫PC機由四探針儀器面板上立操作成。測試結果數據由主機數碼管直接顯示,也可連機由軟件界面同步顯示、分析、保存和打印!
探頭選配:根據不同材料性需要,探頭可有多款選配。有耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻;也有形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜(ITO膜)或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻行測量。
測試臺選配:般四探針法測試電阻率/方阻配HAD-A或HAD-B或HAD-C或HAD-F型測試臺。
詳見《四探針儀器、探頭和測試臺的點與選型參考》
儀器具有測量度、靈敏度、穩定性好、智能化程度、測量簡便、結構緊湊、使用方便等點。
儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試,別是適用于斜置式四探針對于微區的測試。

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